超純水是把水中的導電介質幾乎完全去除,又把水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水,電阻率達到10MΩ*cm(25℃)。超純水常用于集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等,也作為其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等制作的材料。

瀏覽次數:186
超純水是把水中的導電介質幾乎完全去除,又把水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水,電阻率達到10MΩ*cm(25℃)。超純水常用于集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等,也作為其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等制作的材料。
超純水:既將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。
超純水,是一般工藝很難達到的程度,采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達18.25MΩ*cm(25℃)。
超純水是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水,這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質微量元素,一般不可直接飲用,對身體有害,會析出人體中很多離子。
超純水是指下列雜質含量極低的水:①無機電離雜質,如 Ca、Mg、Na、K、Fe2+、Fe3+、Mn、Al、HCO、CO、SO、Cl、NO、NO、SiO、PO等;②有機物,如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等;③顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等;④微生物,如細菌、浮游生物和藻類等;⑤溶解氣體,如N2、O2、CO2、H2S等。超純水中電離雜質的含量用水的電阻率數值來衡量。理論上,純水中只有H離子和OH離子參加導電。在25℃時超純水的電阻率為 18.3(兆歐·厘米),一般約為15~18(兆歐·厘米)。
超純水中有機物含量由測定有機物碳含量而定,電子工業超純水中規定含量為50~200微克/升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質每1毫升內含量為1~2個,微生物每1毫升為0~10個?,F代采用預處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術等,使超純水的電阻率在25℃時達到18(兆歐·厘米)。
依各種原水水質和用戶要求的不同,超純水的制備工藝大體可分為預處理、脫鹽和精處理三步。
工藝流程
超純水,目前的主要工藝流程
⒈預處理----復床 ----混床---拋光樹脂
⒉預處理----反滲透---混床---拋光樹脂
⒊預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂
傳統超純水制取設備工藝流程:原水—多介質過濾器—活性炭過濾器—一級除鹽—混床—超純水
膜法超純水制取設備工藝流程:原水—超濾—反滲透—EDI—超純水
在膜法工藝中,超濾,微濾替代澄清,石英砂過濾器,活性炭過濾器,除去水中的懸浮物膠體和有機物,降低濁度,SDI,COD等,可以實現反滲透裝置對污水回用的安全,高效運行,以反滲透替代離子交換器脫鹽,進一步除去有機物,膠體,細菌等雜質,可以保證反滲透出水滿足EDI進水的要求,以EDI代替混床深度脫鹽,利用電而不是酸堿對樹脂再生,避免了二次污染。